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常見問題

電子及半導(dǎo)體工業(yè)對超純水水質(zhì)有什么要求?

發(fā)布時間: 2019-07-23
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      在電子工業(yè)的生產(chǎn)工藝中,相當(dāng)多的工序要進行化學(xué)處理,而電子產(chǎn)品的清洗和化學(xué)藥劑的制備都直接或間接地要利用到純水或超純水。隨著電子工業(yè)的發(fā)展,尤其是以超大規(guī)模集成電路為代表的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,對純水的水質(zhì)提出了更高的要求,下表所列為美國材料測試協(xié)會(ASTM)根據(jù)半導(dǎo)體特性而制定的超純水水質(zhì)要求。
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